無塵室為嚴格控管氣懸微粒濃度的場所,力求避免微粒引入、產生及滯留,並在需求範圍內控制其溫濕度、氣流分佈、調節壓力、防止靜電等,多應用於對環境潔淨度特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、食品和醫院內的手術室等行業。 無塵室依等級不同,對空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644-1。數值越小,潔淨程度就越高。
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